サポート

保守、技術サポート

保守、技術サポートは下記内容をご提供します。

1. 電話サポート
2. 現地または弊社工場での修理・メンテナンス
3. ご使用中の装置の性能向上
4. パーツの販売

＜保守、技術サポートの事例＞

1. 装置にトラブル発生
2. 搬送機構、安全機構の動作チェックなど装置の保守・定期点検
3. 装置の性能向上
   ・スループット向上
・待機中電力及びN2の省エネ
・反応部の分解洗浄、搬送機構のオーバーホール
・ウエハサイズの兼用化
（例：Φ200mmウエハ対応装置をΦ150mmウエハも処理可能にする）
・オンライン化
4. 生産中止部品への対応

生産中止部品のご案内

弊社装置の部品の一部が生産中止となった場合、弊社装置をご利用のお客様に順次ご案内しております。

サポート対応機種

■常圧CVD装置

■マスク洗浄装置

■その他