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サポート

安心して装置をご利用いただくための保守サポートや技術サポートを経験豊富な弊社エンジニアがご提供します。

保守、技術サポート

保守、技術サポートは下記内容をご提供します。

  1. 電話サポート
  2. 現地または弊社工場での修理・メンテナンス
  3. ご使用中の装置の性能向上
  4. パーツの販売

<保守、技術サポートの事例>

  1. 装置にトラブル発生
  2. 搬送機構、安全機構の動作チェックなど装置の保守・定期点検
  3. 装置の性能向上
    ・スループット向上
  4. ・待機中電力及びN2の省エネ
    ・反応部の分解洗浄、搬送機構のオーバーホール
    ・ウエハサイズの兼用化
    (例:Φ200mmウエハ対応装置をΦ150mmウエハも処理可能にする)
    ・オンライン化
  5. 生産中止部品への対応

生産中止部品のご案内

弊社装置の部品の一部が生産中止となった場合、弊社装置をご利用のお客様に順次ご案内しております。

サポート対応機種

  • AMAX1200
  • AMAX800、AMAX800V
  • AMAX200
  • A200、A200V
  • A6300S
  • AMAX1000S
  • D501
  • AECシリーズ
保守、技術サポートに関するお問い合わせは、「保守、技術サポートお問い合わせフォーム」または緊急の場合は、下記までご連絡をお願い致します。
<緊急の場合の電話連絡先>
電話番号:048-989-1883 (サービス部直通)
メールアドレス:info@amaya-cvd.co.jp
時間:9:00~17:00