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製品ラインナップ

お客様のニーズにお応えする、製品ラインナップをご用意しています。また、オーダーメードにもご対応いたします。

<製品の特徴>

  • 半導体製造用、太陽電池製造用等様々な用途に対応
  • 少量生産から大量生産まで対応
  • SiO2、BPSG、BSG、PSG、AlOx等様々な膜種を形成
  • SiCトレーの採用により重金属汚染を防止
  • 低温(200℃)から中温(500℃)領域まで幅広い成膜が可能

半導体製造装置

A200V
枚葉式常圧CVD装置

AMAX800V
8インチ連続式量産用常圧CVD装置

AMAX1200
12インチ連続式量産用常圧CVD装置

A6300S
小口径ウェハ連続式量産用常圧CVD装置

カスタム装置

D501
バッチ式常圧CVD装置

太陽電池用装置

AMAX1000S
125㎜/156㎜太陽電池量産用連続式常圧CVD装置

オーダーメード装置
リユース製品情報