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製品ラインナップ
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連続式装置 A6300S
バッチ式 Dシリーズ
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AMAX1000S
ガラス基板成膜装置
オーダーメード装置
中古情報
フォトマスク洗浄装置
6インチ以下小口径ウェハ用大量生産常圧CVD装置
A6300S
6インチ 毎時120枚のスループット
SiCトレー採用による重金属汚染対策
特徴
小口径ウェハの大量生産装置のニーズにこたえ、毎時120枚のスループットを実現した連続式常圧CVD装置です。
広範囲な成膜領域を実現するために開発したディスパージョンヘッドとトレー枚数を極限に絞った搬送システムで大量生産を可能にするとともにコストを抑えた装置です。
SiCトレーの採用により重金属汚染は発生しにくくなりました。また熱による経年変化が少なく安定したプロセス性能が得られます。
トレー自動交換機能を標準で装備し、作業者の安全性とメンテナンス時間の短縮を実現しました。またヘッドベースを自動的に上昇させる機構を採用したことにより、容易にクリーニングを行うことができます。
性能
膜厚均一性
≦±4.0％
対応ウェハサイズ
≦6インチ
ガス種
SiH
4
, O
2
, PH
3
, B
2
H
6
, N
2
成膜温度
350℃～450℃
生産性
120枚/時
主な仕様
装置サイズ
1500㎜(W) x 2850㎜(D) x 2000㎜(H)
加熱機構
抵抗加熱
ロード・アンロード
ロボットCtoC搬送
ディスパージョンヘッド（ガスノズル）
A63型2ヘッド
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サービス部
TEL:048-989-1881(代表)
