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製品ラインナップ
常圧CVD装置
枚葉式装置 A200V
連続式装置 AMAX800V
連続式装置 AMAX1200
連続式装置 A6300S
バッチ式 Dシリーズ
太陽電池用装置
AMAX1000S
ガラス基板成膜装置
オーダーメード装置
中古情報
フォトマスク洗浄装置
連続式を極めた高生産性常圧CVD装置
AMAX800V
8インチ 毎時100枚の高スループット
SiCトレー採用による重金属汚染対策と長期安定プロセス
メンテナンス性の向上
特徴
搬送機構の改良により高スループットを実現しました。
低温常圧下での熱化学反応がより効果的に生じるように最適化されたAMAX型ディスパージョンヘッドからSiH
4
, PH
3
, B
2
H
6
とO
2
が分散後に混合し、表面反応させるポストミックス方式により、優れた膜厚均一性と不純物濃度均一性が得られます。
SiCトレーの採用により重金属汚染は発生しにくくなりました。また熱による経年変化が少なく安定したプロセス性能が得られます。
トレー自動交換機能を標準で装備し、作業者の安全性とメンテナンス時間の短縮を実現しました。またヘッドベースを自動的に上昇させる機構を採用したことにより、容易にクリーニングを行うことができます。
性能
膜厚均一性
≦±3.0％
対応ウェハサイズ
8インチ
ガス種
SiH
4
, O
2
, PH
3
, B
2
H
6
, N
2
成膜温度
350℃～450℃
生産性
100枚/時
主な仕様
装置サイズ
1460㎜(W) x 3830㎜(D) x 2250㎜(H)
加熱機構
抵抗加熱
ロード・アンロード
ロボットCtoC搬送
ディスパージョンヘッド（ガスノズル）
AMAX型3ヘッド
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サービス部
TEL:048-989-1881(代表)
