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製品情報

12インチ対応連続式常圧CVD装置

AMAX1200

  • 12インチ 毎時51枚のスループット
  • SiCトレー採用による重金属汚染対策

特徴

  • 伝統あるAMAXシリーズの最大径12インチウェハ処理装置です。
  • 低温常圧下での熱化学反応がより効果的に生じるように最適化されたA63型ディスパージョンヘッドからSiH4, PH3, B2H6とO2が分散後に混合し、表面反応させるポストミックス方式により、優れた膜厚均一性と不純物濃度均一性が得られます。
  • SiCトレーの採用により重金属汚染は発生しにくくなりました。また熱による経年変化が少なく安定したプロセス性能が得られます。
  • トレー自動交換機能を標準で装備し、作業者の安全性とメンテナンス時間の短縮を実現しました。またヘッドベースを自動的に上昇させる機構を採用したことにより、容易にクリーニングを行うことができます。

性能

膜厚均一性 ≦±3.0%
対応ウェハサイズ 12インチ
ガス種 SiH4, O2, PH3, B2H6, N2
成膜温度 ~450℃
生産性 51枚/時  FOUP対応標準機

主な仕様

装置サイズ 21650㎜(W) x 4788㎜(D) x 2250㎜(H)
加熱機構 抵抗加熱
ロード・アンロード ロボットCtoC搬送
ディスパージョンヘッド(ガスノズル) A63ヘッド(標準3ヘッド)

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