125㎜角/156㎜角対応太陽電池量産用連続式常圧CVD装置
AMAX1000S
- 156㎜角 毎時1500枚のスループット
- SiCトレー採用による重金属汚染対策とトレーホルダーの改良による裏面回り込み対策
特徴
- 太陽電池の生産ニーズに合致した超大量生産装置で156㎜x156㎜角基板、125㎜ x125㎜角基板の搬送が可能です。
- 大量生産を可能にするために専用ディスパージョンヘッドを開発、さらに超高速搬送を実現するため、ダブルアーム搬送機構を開発しました。さらに超高速でかつウェハの温度均一性を得るために、ランプ加熱機構も新たに加えられています。
- 太陽電池用薄ウェハに効率的に加熱できるよう特別なウェハホルダーを開発しました。
- アンローダー部に多段ベルヌイチャックを採用し、ウェハとトレーを分離するとともに、冷却機能も備えています。
性能
| 膜厚均一性 |
≦±10.0％ |
| 対応ウェハサイズ |
156㎜角、125㎜角 |
| ガス種 |
SiH4,O2, PH3, B2H6, N2 |
| 成膜温度 |
～430℃ |
| 生産性 |
1500枚/時 |
主な仕様
| 装置サイズ |
1860㎜(W) x 5900㎜(D) x 2100㎜(H) |
| 加熱機構 |
抵抗加熱・ランプ加熱 |
| ロード・アンロード |
ロード：チャッキング、アンロード：ベルヌイチャック |
| ディスパージョンヘッド（ガスノズル） |
A63長尺ヘッド（標準3ヘッド） |
